無塵室介紹

無塵室簡言之,就是在一個工作區域中,用人為的方式控制其內部空氣中之落塵,使其數量能在需求的一定數目中,此空間可稱為無塵室。

無塵室(Clean Room),又名潔淨室或清淨室。其形成主要是利用循環空調系統,配合多層次的精密濾網,排除空氣中之氣狀與粒狀污染物,並將空氣環境中溫度、濕度、微塵粒子、電磁波、靜電及微振動等控制在合適的範圍內,而給予特別設計之空間。尤其超大型積體電路與光學產業對於空氣中浮游粒子、化學分子等之污染極為敏感 。此環境被廣泛運用於半導體、光電、醫療製藥、生化等產業。

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