無塵室&潔淨室等級表

潔淨室之構成

構成一完整且品質良好的潔淨室，須由下列各項系統所組成：

  • 天花板系統：包括吊桿(Ceileing rod)、綱樑(l-Beam或U-Beam)、天花板格子樑(Ceiling grid 或 Ceilingframe)
  • 空調系統：包括空氣艙、過慮器系統、風車等。
  • 隔間強板(Partitional wall)：包括窗戶、門。
  • 地板：包括高架地板或防靜電舒美地板等。
  • 照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。

    • 潔淨室之主體建築結構，一般是用鋼筋、綱骨、水泥等，無論何種構造，必須滿足以下條件：

    1. 不會因溫度變化與震動而發生裂痕。
    2. 不易產生微塵粒子，且很難附著粒子。
    3. 吸濕性小。
    4. 為了維持室內之溼度條件，熱絕緣性要高。

    美國聯邦標準-209E潔淨室規格表

    等級限值
    等級名稱 0.1μ m 0.2μ m 0.3μ m 0.5μ m 5μ m
    容積單位 容積單位 容積單位 容積單位 容積單位
    SI 英制 m³ ft³ m³ ft³ m³ ft³ m³ ft³ m³ ft³
    M1 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283 - -
    M1.5 1 1,240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00 - -
    M2 3,500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 - -
    M2.5 10 12,400 350 2,650 75.0 1,060 30.0 353 10.0 - -
    M3 35,000 991 7,570 214 3,090 87.5 1,000 28.3 - -
    M3.5 100 26,500 750 10,600 300 3,530 100 - -
    M4 75,700 2,140 30,900 875 10,000 283 - -
    M4.5 1000 35,300 1,000 247 7.00
    M5 100,000 2,830 618 17.5
    M5.5 10000 353,000 10,000 2,470 70.0
    M6 1,000,000 28,300 6,180 175
    M6.5 100000 3,530,000 100,000 24,700 700
    M7 10,000,000 283,000 61,800 1,750